LITHO MASKLESS는 TI의 0.65” DMD(Digital Mirror Device)와 정립 현미경 시스템을 기반으로 한 다이나믹 마스크 기술을 적용한 마스크리스 리소그래피 장비입니다. 이 시스템은 고가의 하드 마스크 없이도 수 마이크론 수준의 해상도로 2D 및 2.5D 형상을 패터닝 할 수 있으며, 다양한 레지스트와 기판에 호환됩니다.
LITHO MASKLESS는 높은 정밀도와 효율성을 제공하여 반도체, 마이크로 전자, 생명 과학 등 다양한 분야에서 유용하게 활용될 수 있는 혁신적인 리소그래피 솔루션입니다.
LITHO MASKLESS Module
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